立体式三次元光学断面計は実験室の研究と生産過程の制御に*高性能の非接触表面測定を提供した。10世代白色光干渉測定（WLI）の**と設計を組み合わせて、この計量システムは*高い垂直分解能が業界の*大視野を超えることを提供している。主な機能としては、完全な自動化と生産インタフェース、大型電動XYZクラス、ヘッドの傾斜/傾斜、完全な空気隔離台があります。設計は地面から*までの過酷な研究開発、品質保証、プロセス品質制御の必要性、CONTEBGT-Xは*終の測定器能力の3次元光学精度とロバスト性を提供している。

生産準備設計と信頼性

CONTEBGT-Xは、Brukerのレンガリー***/チルトヘッド、レンガリーの自己較正レーザー基準、統合モード識別、およびその他多くの独自の干渉測定技術の**を結合し、非常に**な表面計量と高フラックスを提供しています。このシステムの自動構成により、X、Y、Zウェハの配置精度を向上させるためのエアテーブルスタビライザーキットと、PDU、EMO、真空システムを統合し、エンドエフェクタの互換性を自動的にロードするために修正された真空チャックを含む、ほとんどの生産環境を迅速に最適化できます。

高精度高解像度イメージング

CONTEBGT-X機動XYステージは12インチ符号化運動をXとY方向に提供する。このプラットフォームは、マルチポイントデータ収集や大面積解析のためのスプライス機能などの自動ルーチンをサポートしています。0.5ミクロンエンコーダは、信頼性の高い、反復可能な自動化、およびサンプル位置決めを提供する。例の位置決めは、直感的なジョイスティックとソフトウェアインタフェースコントロールによって操作者に便利です。

直感的なサーフェス測定と解析ソフトウェア

BrukerのVision 64オペレーションと分析ソフトウェアは、インテリジェントアーキテクチャと直感的な可視化ワークフローとユーザー定義の広範な自動化機能を組み合わせた、業界*の実用的かつ*コンパクトなグラフィカルユーザーインタフェースを提供し、迅速かつ**なデータ収集と分析に使用します。ほとんどの生産環境と自動化プロセスに対応するCONTEBGT-Xを可能にする先進的な生産インタフェース。このインタフェースは、プロセスワークフローをカスタマイズし、フォーミュラを自動マッピングし、ロード測定するためのツールを提供します。